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SCMFM微氣體質(zhì)量流量計(jì)

型 號(hào)

所屬分類微小氣體流量計(jì)

報(bào)價(jià)

更新時(shí)間2025-03-09

產(chǎn)品描述:SCMFM微氣體質(zhì)量流量計(jì)能替代浮子流量計(jì)、孔板流量計(jì)等流量計(jì)。其特點(diǎn)是可靠性高、重復(fù)性好,壓損小,無(wú)可動(dòng)部件,量程比寬,響應(yīng)時(shí)間較快,測(cè)量精度高,無(wú)需要溫度壓力補(bǔ)償。

產(chǎn)品概述

SCMFM微氣體質(zhì)量流量計(jì)技術(shù)參數(shù):

2.1  測(cè)量介質(zhì):各種氣體(乙炔氣和混合氣體除外)
2.2  流量范圍:DN3   30-300ml/min
               DN6   60-600ml/min
               DN8   80-800ml/min
               DN10  100-1000ml/min             
注:
   a)以上流量的測(cè)量介質(zhì)為空氣而言;
   b)以上流量的標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)20℃,101.325kPa。
   c) 每個(gè)口徑量程范圍均可擴(kuò)大
   d)特殊需要可單獨(dú)標(biāo)定
2.3   流量測(cè)量準(zhǔn)確度:±1.5%FS;±2.5%FS
2.4   工作溫度范圍:0-55℃;
2.5   工作壓力范圍:0.3MPa,0.6MPa,1.0MPa
2.6   供電電源:24VDC±10%;
2.7   輸出信號(hào):4-20mA,RS485通訊;
2.8   環(huán)境溫度:0-55℃;
2.9   顯示位數(shù):瞬時(shí)流量為三位,累積流量10位。

SCMFM微氣體質(zhì)量流量計(jì)工作原理:

uf感熱式芯片技術(shù)是采用大規(guī)模集成電阻的工作, 保證傳感器的高度*,解決了:“現(xiàn)在傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計(jì)無(wú)法保證其傳感器的電阻值的*性,導(dǎo)致傳感器在各個(gè)法線方向熱傳導(dǎo)速度的差異,所以傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計(jì)在傳感器校準(zhǔn)和使用過(guò)程中產(chǎn)品穩(wěn)定性存在問(wèn)題,實(shí)際應(yīng)用中的熱式質(zhì)量流量計(jì)價(jià)格昂貴,大規(guī)模應(yīng)用比較難”的問(wèn)題。而uf感熱式芯片的功耗大大小于普通的熱式質(zhì)量流量計(jì),同時(shí)可靠性穩(wěn)定,安全性更好。

在芯片上,一個(gè)微熱源及分別處于微熱源上下游的溫度傳感器集成在采用MEMS的*工藝制作的鏤空橋面上。采用這這樣的橋式方式制作有利于熱傳導(dǎo),使動(dòng)態(tài)響應(yīng)時(shí)間大大提高。當(dāng)傳感器工作時(shí),微熱源與環(huán)境溫度之間保持一定的溫差(通常是70℃),在芯片周圍形成固定的溫度場(chǎng)分布。如果氣體是單向流動(dòng),則在氣道中溫度場(chǎng)可用下述公式來(lái)計(jì)算:

[微小氣體質(zhì)量流量計(jì)]

式中:氣體流動(dòng)方向?yàn)椋?,速度為v,a為擴(kuò)散率。
如上圖(式)所示,當(dāng)氣體流過(guò)芯片時(shí),將會(huì)帶走熱量,通過(guò)質(zhì)量流量qm和電壓V的對(duì)應(yīng)關(guān)系來(lái)計(jì)算流體的質(zhì)量流量。

SCMFM微氣體質(zhì)量流量計(jì)概述:

采用關(guān)鍵矽微機(jī)械加工技術(shù)的MS流量傳感器具有測(cè)量微小、小流量的優(yōu)勢(shì)的MEMS( Microelectromechanical systems)氣體質(zhì)量流量計(jì)和流量控制器,主要應(yīng)用于輕工、化工、環(huán)保及半導(dǎo)體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮?dú)獾葰怏w的檢測(cè)和控制。
該產(chǎn)品能替代浮子流量計(jì)、孔板流量計(jì)等流量計(jì)。其特點(diǎn)是可靠性高、重復(fù)性好,壓損小,無(wú)可動(dòng)部件,量程比寬,響應(yīng)時(shí)間較快,測(cè)量精度高,無(wú)需要溫度壓力補(bǔ)償。

SCMFM微氣體質(zhì)量流量計(jì)機(jī)械尺寸

 

L

D

H

G

DN3

74

30

127

G1/8

DN6

74

30

127

G1/4

DN8

90

30

127

G3/8

DN10

130

35

127

G1/2

SCMFM微氣體質(zhì)量流量計(jì)的輸出

PIN1:報(bào)警輸出2
PIN2:報(bào)警輸出1
PIN4:RS485B
PIN5:RS485A
PIN11:電源負(fù)端(0V)
PIN12:電斷正端(24V)
PIN14:LOOP-  
PIN15:LOOP+
PIN3、6~10、13:信號(hào)地(報(bào)警信號(hào)參考地)

8.2 報(bào)警連接

8.3 RS485連接:

8.4 4-20mA輸出連接:

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